隨著半導體設(shè)計在生產(chǎn)過程中向精密化、小型化、小型化發(fā)展，對純水質(zhì)量的要求也越來越高，超純水是一種除水離子外，還含有硅石、微粒、細菌、有機物質(zhì)和微生物一并給予有限度的去除達到完全純凈程度的水質(zhì)，常用于電子行業(yè)。所以超純水設(shè)備已經(jīng)成為了半導體行業(yè)用水的重要保障。

　　超純水設(shè)備顧名思義，其是采用EDI技術(shù)和反滲透技術(shù)相結(jié)合，可有效去除水中懸浮物、膠體、顆粒等雜質(zhì)，達到凈化水質(zhì)的良好目的。此設(shè)備無需添加任何化學藥劑，無需擔心水質(zhì)的二次污染。

　　超純水設(shè)備工藝流程

　　自來水進入原水箱，通過原水泵增壓，經(jīng)砂濾器、炭濾器、阻垢劑加藥、保安過濾器，到達反滲透單元，經(jīng)兩級反滲透過濾進入EDI單元，拋光混床單元，EDI出水進入純水水箱，此時水質(zhì)的電阻率是15兆歐，經(jīng)過拋光混床后，產(chǎn)水電阻率達到18兆歐，但是不進入水箱，直接進入用水點。因為水箱中若出現(xiàn)產(chǎn)水滯留，會影響產(chǎn)水水質(zhì)。純水供水設(shè)計為循環(huán)方式，經(jīng)純水供水泵增壓，通過紫外線消毒器、拋光混床接入純水供水管，到達使用點。

　　超純水設(shè)備一般包括石英砂濾器、活性碳濾器、阻垢劑、精密過濾器、RO反滲透主機系統(tǒng)、EDI電除鹽系統(tǒng)、離子交換混床系統(tǒng)等構(gòu)成。通過多年來的實踐，萊德采用反滲透技術(shù)和EDI裝置相結(jié)合的工藝制備超純水，萊德超純水設(shè)備具有很好的實用價值，可以實現(xiàn)自動控制，從某種程度上而言，可以有效的達到我國電子級水質(zhì)標準，具有自動化程度高，水質(zhì)穩(wěn)定等優(yōu)勢。

　　萊特萊德超純水設(shè)備（www.chaochunshuishebei.com）在設(shè)計上采用兩級RO+EDI+精混床除鹽水的處理工藝，具有成熟、可靠、自動化程度高等優(yōu)勢，保證了處理后的出水電阻率達到18 MΩ.CM以上。設(shè)備內(nèi)部還安裝有反滲透預脫鹽技術(shù)，從根本上保證出水水質(zhì)。