光刻膠用于制作各種高性能的微納，除了生產(chǎn)用于i、g和h線的光刻膠以外，還有電子束刻蝕膠和納米壓印膠以及專門用于光學(xué)波導(dǎo)制作的光膠。

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ma-N 系列光刻膠電子束和深紫外曝光好、電子束和深紫外靈敏；適合作為刻蝕掩模，極好的抗干刻、濕刻性能；膠圖案良好的熱穩(wěn)定性；優(yōu)異的圖案分辨率-50 nm以下；堿性水溶液下顯影。

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光刻膠NRD6015負(fù)性

聚乙烯醇肉桂酸酯系負(fù)型光刻膠

Liftft off光刻膠

ma-N 1400系列 負(fù)性光刻膠

ma-N 400系列 負(fù)性光刻膠

ma-N 2400系列 負(fù)性光刻膠

XR-1541電子束光刻膠 ?負(fù)性光刻膠

AZ4620光刻膠

AZ5214光刻膠

KMPR 1000系列 ?負(fù)性光刻膠

AZ 1500 系列i線光刻膠

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瑞禧WFF.2022.6

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