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正膠S1800光刻膠/AZ5214光刻膠/光刻膠BCI-3511/AZ1500系列i線光刻膠

2022-06-06 14:25 作者:ruixishengwu  | 我要投稿

正膠S1800光刻膠屬于紫外光刻膠-薄膠,適用于g-Line,broad line光譜,厚度范圍在0.5-3.5um,分辨率為0.5um,正膠S1800光刻膠正性光刻膠,穩(wěn)定性好;適用于分辨率要求較高的光刻工藝。

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AZ5214屬于紫外光刻膠-薄膜,適用g/h/i-Line光譜,厚度范圍在1-2um之間,分辨率為0.5um,通常應(yīng)用于反轉(zhuǎn)膠工藝。

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BCI-3511屬于紫外光刻膠-薄膜,適用i-Line光譜,厚度范圍在0.5-2之間,分辨率為0.5um,通常應(yīng)用于正性i線光刻膠,適用于各類接觸式光刻機(jī)(mask aligner)、stepper工藝。

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AZ 1500系列i線光刻膠屬于紫外光刻膠-薄膜,適用g/h/i-Line光譜,厚度范圍在0.5-5之間,分辨率為1um,正性光刻膠,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造工藝。


KMPR 1000系列 ?負(fù)性光刻膠

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紫外光刻膠 AR-N 4400

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