在科學技術不斷發(fā)展的時代，氦質譜檢漏儀也在不斷發(fā)展和完善。這主要取決于兩個因素：一方面，泄漏檢測應用技術不斷對泄漏檢測器提出新的要求，迫使氦質譜檢測器本身進行更新；另一方面，泄漏檢測技術也補充了現(xiàn)有氦質譜儀在應用過程中存在的一些不足，因此兩者之間的關系相輔相成.相互促進。

經(jīng)過半個多世紀的努力，今天的氦質譜檢漏儀告別了20世紀40年代初的局勢。主要體現(xiàn)在以下幾個方面:

便攜式：近年來各國推出的小型便攜式氦質譜檢漏儀不僅靈敏度高，而且便于攜帶，為野外作業(yè)和高空作業(yè)提供了極大的便利。

高壓強下檢漏：檢漏口壓力可高達數(shù)百帕左右，對檢測大系統(tǒng)和有大漏的工件非常有益。

高度自動化:氦峰自動校準，零點自動調整，范圍自動轉換，數(shù)據(jù)自動處理，外部打印機。整機由微機控制，菜單選擇功能，一個按鈕即可完成一個完整的檢漏過程。

全無油干檢漏:干式泵可用于一些國家生產(chǎn)的氦質譜檢漏儀，達到無油蒸汽的效果，為無油系統(tǒng)、芯片等半導體器件的檢漏提供了有利條件。

檢漏范圍寬：今天生產(chǎn)的四極氦質譜檢漏儀，質量范圍寬，不僅可以檢測氦氣，還可以檢測其他氣體。

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