? 等離子體(Plasma)是一種由自由電子和帶電離子為主要成分的物質(zhì)形態(tài)，廣泛存在于宇宙中，常被視為是物質(zhì)的第四態(tài)，又被稱為等離子態(tài)，或者"超氣態(tài)"，也稱"電漿體"。等離子體具有很高的電導率，與電磁場存在極強的耦合作用。

?新能源產(chǎn)業(yè)作為衡量一個國家和地區(qū)高新技術發(fā)展水平的重要依據(jù)，也是新一輪競爭的戰(zhàn)略制高點。世界發(fā)達國家和地區(qū)以及中國都把發(fā)展新能源作為順應科技潮流、推進產(chǎn)業(yè)結(jié)構調(diào)整的重要舉措。另外，我國提出區(qū)域?qū)I(yè)化、產(chǎn)業(yè)集聚化的方針，并大力規(guī)劃、發(fā)展新能源產(chǎn)業(yè)，相繼出臺一系列扶持政策，使得新能源產(chǎn)業(yè)園區(qū)如雨后春筍般涌現(xiàn)。

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新能源發(fā)展迅速，其生產(chǎn)工藝也是在不斷完善中。而在其過程中，如若使用等離子體技術，其生產(chǎn)工藝將會得到更好的優(yōu)化。下面，我們用等離子體技術在太陽能方面的運用進行一個說明，讓我們更好的了解等離子體技術。

玻璃基板：

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使用等離子體技術，對材料表面進行轟擊，可有效去除表面污染物，使工件表面親水性大大提高。清洗后的水滴夾角小于5度，為下道工序的進行奠定良好基礎。

陽極表面改性:

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用等高子體技術對ITO陽極進行表面改性，可有效優(yōu)化其表面化學組成，大大降低方塊電阻，從而有效提高能量轉(zhuǎn)換效率，改善器件的光伏性能。

涂保護膜前處理:

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硅片表面非常光亮，會反射掉大量的太陽光。因此，在其上沉積一層反射系數(shù)非常小的氮化硅保護膜是非常必要的。通過采用等離子體技術，可活化硅片表面，大大提高其表面附著力。