RBN150XY系列雙軸精密運動臺

產品特點

<< 非接觸式直驅結構驅動

<< 抗蠕動交叉滾柱導軌導向

<< 百納米級定位精度

<< 納米級微動步距

<< 高動態(tài)性能

<< 結構可接受定制

背景介紹

? RBN150XY系列是我們研發(fā)出的一款百納米級精度的雙軸軸精密運動臺，具有納米級微動步距，百納米級定位精度，高動態(tài)性能，結構緊湊，應用于微納加工、測試測量及光纖對準等領域。

設計特點

采用非接觸式直線直驅電機驅動，非常適合要求高精度的需求，其不會與永久性磁鐵發(fā)生不良反應，在低速運行時也能保持平穩(wěn)，在高速狀態(tài)系也不會產生振動。直驅電機具有零間隙、零摩擦和良好的動態(tài)性能等特點。

抗蠕動交叉滾柱直線導軌導向，滾柱是線接觸，比滾珠接觸面積大，工作時比較平穩(wěn)；交叉排列,多方向受力時比較穩(wěn)定；三片疊層式結構緊湊，減小阿貝誤差的影響。

?非接觸式光柵閉環(huán)反饋，優(yōu)化考慮熱膨脹的設計，這種緊湊是結構設計，在有限的空間內具有魯棒性和準確度，獲得重復定位精度±75nm.

精密控制

? 配合業(yè)界上主導的控制器和驅動器相結合，可提供優(yōu)異的伺服性能、先進的控制算法，從而提高動態(tài)性能。控制器有誤差補償功能。

定制化設計

?可定制用于真空環(huán)境下的版本。

?根據(jù)應用可配置大理石基座、隔振臺、光學平臺等整套系統(tǒng)方案。