真空泵是制造真空的一種機械，它可以把一個密閉的或半密閉的空間中的空氣排出或者吸收，達到局部空間的相對真空。

1650年，德國馬德堡市市長奧托·馮·格里克發(fā)明第一臺空氣泵。這位市長進行了著名的馬德堡半球?qū)嶒?，展示了大氣壓的大小并推翻了之前亞里士多德提出的“自然界厭惡真空”（即自然界不存在真空，恐怖真空）的假說。

他是德國物理學(xué)家、政治家，曾于1646年至1676年間任馬德堡市市長，于1650年發(fā)明了活塞式真空泵。他之后不斷改進后于1654年設(shè)計出真空泵。

最早的真空泵是由羅伯特·胡克于1658年為羅伯特·波義耳以科學(xué)為目的在英格蘭制造的。

真空泵在之后不斷地發(fā)展過程中，出現(xiàn)許多不同類型，有往復(fù)式真空泵、水環(huán)泵、分子泵、旋片式真空泵、活塞式真空泵、搖擺活塞式真空泵、隔膜式真空泵、線性真空泵等種類非常多。