原子級(jí)沉積，擴(kuò)展摩爾定律

原子級(jí)沉積方法的特點(diǎn)是薄膜的保形性和均勻性。原子級(jí)沉積可以為具有高縱橫比的多種結(jié)構(gòu)帶來垂直方向的橫向分辨率，包括側(cè)壁、納米線、納米管等。自對(duì)準(zhǔn)雙圖案是垂直分辨率的典型示例。原子級(jí)沉積可以提高納米圖案化的精度，獲得一些特殊的結(jié)構(gòu)，可以進(jìn)一步減小特征尺寸，提高晶體管的密度，從而在短期內(nèi)促進(jìn)摩爾定律的延續(xù)。

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