新材料行業(yè)半導(dǎo)體廢氣處理的方法。半導(dǎo)體行業(yè)與傳統(tǒng)材料相比，新材料產(chǎn)業(yè)具有技術(shù)高度密集，研究與開發(fā)成本高，產(chǎn)品的附加值高，生產(chǎn)與市場的強，應(yīng)用范圍廣，發(fā)展前景好。

一、半導(dǎo)體制造工藝過程中揮發(fā)各種有機廢氣，廢氣排放具有排氣量大、排放濃度小的特點。這些廢氣排放主要可以分為四類：酸堿氣體、有機廢氣。

　　1、酸堿廢氣主要來自擴散、CVD、CMP及刻蝕等工序，這些工序使用酸堿清洗液對晶片進行清洗。目前，在半導(dǎo)體制造工藝中使用普遍的清洗溶劑為過氧化氫和硫酸的混合劑。

　　2、堿性氣體為氨氣。

　　3、有機廢氣主要來源于光刻、顯影、刻蝕及擴散等工序，在這些工序中要用有機溶液對晶片表面進行清洗，其揮發(fā)產(chǎn)生的廢氣是有機廢氣的來源之一：同時，在光刻、刻蝕等過程中使用的光阻劑中含有易揮發(fā)的有機溶劑，如醋酸丁酯等，在晶片處理過程中也要揮發(fā)到大氣中。

　二、半導(dǎo)體行業(yè)有機廢氣處理方法：

半導(dǎo)體工藝過程中有機廢氣具有排放風量大、濃度低和成分復(fù)雜的特點，使用其他的處理技術(shù)難以達到滿意的處理效果。一些半導(dǎo)體企業(yè)已采用沸石轉(zhuǎn)輪+催化燃燒技術(shù)。

沸石轉(zhuǎn)輪+催化燃燒VOCs處理設(shè)備，是將吸附濃縮單元和熱氧化單元有機地結(jié)合起來的一種方法，主要針對大風量、低濃度的有機廢氣，經(jīng)吸附凈化并脫附后轉(zhuǎn)換成小風量、高濃度的有機廢氣，對其進行焚燒處理，并將有機物燃燒釋放的熱量有效利用。

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