在測(cè)量部分容器總漏率的過程中，如果漏率較小，則很難測(cè)量，可以通過差壓法進(jìn)行測(cè)量?，F(xiàn)在讓我們跟著螺桿真空泵制造商一起了解這種差壓法檢漏。

差壓法檢漏需要使用差壓計(jì)，它可以檢測(cè)到很小的壓力值變化，其核心部件是差壓傳感器：兩個(gè)進(jìn)氣口位于認(rèn)知閥片兩側(cè)，連接待測(cè)器皿和基準(zhǔn)物；當(dāng)閥片兩側(cè)有壓差時(shí)，閥片兩側(cè)間隙發(fā)生變化，電路中的抗感性逐漸變化，將壓差信號(hào)轉(zhuǎn)換為電信號(hào)標(biāo)記導(dǎo)出。

差壓法檢漏的簡(jiǎn)單原理可參考圖中（右下角）：差壓傳感器一端連接基準(zhǔn)物（不泄漏），另一端接被測(cè)量容器；兩者填充相同的壓力氣體，平衡差壓傳感器兩側(cè)；當(dāng)基準(zhǔn)物與待測(cè)容器隔離時(shí)，如果被測(cè)容器泄漏，差壓傳感器兩側(cè)會(huì)出現(xiàn)壓差，就會(huì)輸出與泄漏量有關(guān)的信號(hào)。

在具體的泄漏測(cè)量應(yīng)用中，應(yīng)用差壓法確保待被測(cè)器皿的體積、材料和形狀基本一致，使工作溫度變化對(duì)兩者的影響保持相同的方向，去除測(cè)試環(huán)境，溫度對(duì)測(cè)量的不利影響，提高測(cè)量的穩(wěn)定性，這也是差壓法檢漏的重要優(yōu)勢(shì)。

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