EDX，全稱Energy Dispersive X-Ray Spectroscopy，能量色散型X射線光譜儀。EDX的原理是利用試樣發(fā)出的元素特征X射線波長和強(qiáng)度大小，分析測定試樣中可能含有的元素。通過對比不同元素譜線的強(qiáng)度可以測定試樣中元素的含量?？赏瑫r(shí)對樣品進(jìn)行多元素分析，是物質(zhì)成分分析的常規(guī)手段，也可用于表面分析。

可做樣品形態(tài)：粉體，液體，塊體，薄膜

樣品要求：EDX不適用于測試塑料、輕元素，其有效元素測試范圍在13號（Al）~92號（U）元素之間；測試的樣品表面要盡量平整；

樣品量要求：

液體：大于2mL

粉末及塊體：大于3g

金屬：厚度3-5mm

薄膜：大于10mm2

應(yīng)用領(lǐng)域

1.?電子電器設(shè)備有害成分RoHS檢測

RoHS是由歐盟立法指定的一項(xiàng)強(qiáng)制性標(biāo)準(zhǔn)，全稱《Restriction of Hazardous Substances》。該標(biāo)準(zhǔn)主要用于規(guī)范電子電器產(chǎn)品的材料及工藝標(biāo)準(zhǔn)，使之更加有利于人體健康及環(huán)境保護(hù)。EDX能快速準(zhǔn)確地檢測出樣品中有害物質(zhì)的有無及其含量，從而判斷是否符合RoHS標(biāo)準(zhǔn)。

2.?元素檢測

EDX可用于檢測樣品表面元素成分，用于辨別樣品中是否混入雜質(zhì)元素以及含量，亦可用于檢測樣品中特定元素的含量進(jìn)行針對性分析。