書(shū)籍：《炬豐科技-半導(dǎo)體工藝》

文章：?jiǎn)尉ぞ呱系匿X清洗

編號(hào)：JFKJ-21-386

作者：炬豐科技

互連演變與技術(shù)

互連的主要化學(xué)品

銅互連的水溶液

鋁在酸性水溶液中的溶解

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4 種酸比較：

礦物酸： 硫酸（H2蘇4 ), 氫氟酸 (HF)

有機(jī)酸： 草酸 / 乙醇酸

鋁在稀釋的 HF (AlCu0.5) 中的溶解

氫氟酸：HF 0.2% & HF0.025% (在具有 [O2] 控制的單晶片工具上測(cè)量）

鋁溶解在稀釋的 HF (AlCu0.5 )

氫氟酸：HF 0.2% & HF0.025% (在具有 [O2] 控制的單晶片工具上測(cè)量）

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水溶液中的鋁電位-pH圖