半導(dǎo)體AMC污染物監(jiān)測用于半導(dǎo)體業(yè)的潔凈環(huán)境，指定了4個“標(biāo)準(zhǔn)范圍”：酸（MA），堿（MB），冷凝物（MC），雜物（MD）。

　　AMC為Airborne Molecular Contaminants的縮寫，從字面意義來看，是初始狀態(tài)為氣相。行為像單一分子的氣態(tài)污染物，或者說是在環(huán)境中有能力沉降于材料表面形成單分子層薄膜的化學(xué)污染物，譯為“懸浮分子污染物”或“氣載分子污染物”。簡言之，AMC就是對產(chǎn)品或工藝設(shè)備及其流程有不良影響的非粒子狀的懸浮化學(xué)污染物。

　　國際半導(dǎo)體設(shè)備和材料協(xié)會在SEMI F21-95，F(xiàn)21-1102中給出了AMC氣體的分類體系。該標(biāo)準(zhǔn)適用于半導(dǎo)體業(yè)的潔凈環(huán)境，指定了4個“標(biāo)準(zhǔn)范圍”：酸（MA），堿（MB），冷凝物（MC），雜物（MD）。涵蓋所有對產(chǎn)品或工藝有危險的AMC，不僅適用于半導(dǎo)體生產(chǎn)，也適用于藥品生產(chǎn)。