半導(dǎo)體尾氣處理技術(shù)，是半導(dǎo)體制造中必不可少的環(huán)節(jié)。在半導(dǎo)體工業(yè)中，為了提高產(chǎn)品的質(zhì)量和產(chǎn)量、降低成本、改善勞動(dòng)條件以及保護(hù)環(huán)境等目的而采取的各種措施和手段的總稱。其中，對生產(chǎn)過程中排放的廢氣的處理是環(huán)境保護(hù)的重要內(nèi)容之一。本文主要介紹半導(dǎo)體工廠廢氣處理的現(xiàn)狀及發(fā)展情況；重點(diǎn)分析目前國內(nèi)外采用的各種凈化方法；最后針對國內(nèi)企業(yè)所面臨的環(huán)保壓力提出一些建議和設(shè)想。

概況：

1、污染物的來源與危害：

在電子工業(yè)中，以氮氧化物（nox）為主體的廢氣約占總排風(fēng)量的60%~70%。nox是一種無色無味的有毒氣體，其化學(xué)性質(zhì)非?；顫娗揖哂袕?qiáng)烈的氧化作用。當(dāng)它進(jìn)入大氣層后就會(huì)迅速擴(kuò)散到整個(gè)地球表面并被空氣和水體吸收并發(fā)生反應(yīng)生成硝酸鹽或硫酸鹽等無機(jī)物隨降水降落地面形成酸雨（so2）。同時(shí)由于它的氧化性很強(qiáng)會(huì)直接破壞臭氧層的結(jié)構(gòu)造成全球性的溫室效應(yīng)使地球氣溫升高進(jìn)而導(dǎo)致一系列的環(huán)境問題如酸雨腐蝕建筑物、影響農(nóng)作物生長等等；因此控制好nox的含量已成為各國政府關(guān)注的焦點(diǎn)也是世界各國制定相關(guān)政策的主要依據(jù)之一。此外在生產(chǎn)過程中還產(chǎn)生大量的vocs（揮發(fā)性有機(jī)物），這些物質(zhì)不僅會(huì)造成環(huán)境污染而且會(huì)對人體健康造成很大的傷害。

2、治理現(xiàn)狀：

目前世界上大多數(shù)國家都采用濕式電除塵器來凈化尾氣中的粉塵顆粒并將其回收利用從而實(shí)現(xiàn)減排的目的。然而對于含有大量水蒸氣的含硫化合物來說濕式電除塵器并不能很好的解決其污染問題。近年來隨著我國經(jīng)濟(jì)的迅速發(fā)展以及人們環(huán)保意識(shí)的不斷增強(qiáng)國家對環(huán)境保護(hù)越來越重視并且制定了相關(guān)的法律法規(guī)要求企業(yè)在生產(chǎn)的過程中要遵守國家的相關(guān)規(guī)定進(jìn)行污染物排放的控制工作以確保環(huán)境的可持續(xù)發(fā)展。

因此很多企業(yè)紛紛開始尋找新的治理途徑來解決企業(yè)的排污問題例如：

活性炭吸附法、光催化降解法、低溫等離子體法以及燃燒爐焚燒技術(shù)等等。