1.主泵對被抽容器直接進(jìn)行抽真空以獲得滿足工藝要求所需真空度的真泵。

2.粗抽泵：從大氣壓開始降低真空系統(tǒng)壓強(qiáng)達(dá)到另一抽氣系統(tǒng)可以開始工作的真空泵。

3.前級泵：用于使另一個泵的前級壓強(qiáng)維持在其最高許可的前級壓強(qiáng)以下的真空泵。

4.維持泵：當(dāng)真空系統(tǒng)抽氣很小時，不能有效的利用主要前級泵。為此，在真空系統(tǒng)中另配一種抽氣速度較小的輔助前級泵來維持主泵的正常工作或維持已抽空的容器所需的低壓的真空泵。

5.增壓泵：工作在低真空泵和高真空泵之間，用以提高抽氣系統(tǒng)在中間壓強(qiáng)范圍的抽氣量或降低前級泵抽氣要求的真空泵。

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