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SEM測試常見問題匯總(一)

2023-08-18 16:09 作者:鑠思百-add  | 我要投稿

SEM電鏡的主要原理就是利用聚焦得非常細的高能電子束在試樣上掃描,激發(fā)出各種物理信息。通過對這些信息的接收、放大和顯示成像,獲得測試試樣表面形貌的觀察。
在測試的過程中我們經(jīng)常會遇到許多問題,現(xiàn)在我們對遇到的一些問題進行了整理。希望能幫助到大家解決SEM測試時的相關(guān)問題。


1, 氣凝膠樣品怎么制備比較好?
根據(jù)不同類型的氣凝膠,參考粉末樣品制備方法,需要注意的是優(yōu)選液體導電膠固定樣品。
2, 什么樣的樣品可以液氮脆斷?
液氮脆斷法主要用于高分子材料斷面觀察,高分子材料有一定的韌性,直接剪短,斷面就不夠清晰,但放入液氮中,可以實現(xiàn)脆性斷裂。
在測試中,有一些細柱狀的樣品,比如螺釘,用液氮輔助淬斷也有很好效果。
3, 磁性粉末如何消磁?
磁性在制樣時,原則就是要少,上電鏡前可在消磁器上消個磁再上電鏡
4, 在拍攝部分樣品SEM圖片中能看到明顯的電子束黑斑,這如何去除界面里的電子束斑呢?
電子束黑斑有可能是樣品比較臟,發(fā)生了積碳,建議制好的樣品注意保存環(huán)境或者及時測試。
5, 同一個樣品為什么不同儀器上拍攝出的效果不同呢?
若拍照參數(shù)設(shè)置相近的話,效果不會有太大不同;只有不同儀器在拍攝時,參數(shù)(探頭,電壓,束流等)設(shè)置不同,具體哪些參數(shù)的影響,需要針對拍攝結(jié)果來分析。
6, SE2是不是加速電壓小,照片清晰度要好一些?
如果只考慮電壓的話,電壓越高,分辨率和信噪比就會更好,更清晰;電壓小圖像越清晰,應該是針對有表面細節(jié)結(jié)構(gòu)的樣品,在較低電壓下,可以看到樣品的表面細節(jié),高電壓下,作用區(qū)比較深,看不到細節(jié)。
7, 多大的放大倍數(shù)可以看到金顆粒?
鍍膜顆粒度受靶材,樣品和鍍膜儀(真空度,工作原理等)的影響,對于Au靶材的話,一般放大倍數(shù)在幾萬倍下就可以看到的。
8, 噴金,噴鉑,噴碳的具體應用場景是哪些?
Au,Pt,Cr等金屬靶材,可以增加二次電子和背散射電子的產(chǎn)生,有較好的信噪比,也可以減少電子束的穿透,目的是獲取較高質(zhì)量的圖像。
C靶材,適用于EDS,EBSD,WDS等成分的分析。
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