《MEMS半導(dǎo)體器件工藝與技術(shù)》

1、直播內(nèi)容簡介

半導(dǎo)體集成電路技術(shù)，誕生于1960年代初，此后按摩爾定律持續(xù)演進和發(fā)展了60年，給電子產(chǎn)業(yè)、信息技術(shù)乃至人類社會帶來了深刻而復(fù)雜的巨大變化，并不斷推動經(jīng)濟和社會各領(lǐng)域加速發(fā)展。

伴隨半導(dǎo)體微納加工技術(shù)的快速發(fā)展，人們始終在探求這種技術(shù)的更多應(yīng)用領(lǐng)域，并取得了大量成果。MEMS技術(shù)就是其中一項極為重要的關(guān)鍵技術(shù)，它將信息采集和控制技術(shù)提升到了嶄新的高度。

MEMS（Micro-Electro-Mechanical Systems，微電子機械系統(tǒng)）技術(shù)源于半導(dǎo)體加工技術(shù)，通過構(gòu)建微機械裝置并運用力學(xué)原理實現(xiàn)技術(shù)目標(biāo)，再與半導(dǎo)體芯片相互配合實現(xiàn)復(fù)雜且強大的產(chǎn)品目標(biāo)。自1970年代誕生至今，已發(fā)展出如陀螺儀、加速度儀、數(shù)字微鏡、噴墨打印頭、各類微型傳感器為代表的大量尖端技術(shù)產(chǎn)品，在工業(yè)自動化、航天軍工、信息技術(shù)、消費電子等產(chǎn)品領(lǐng)域發(fā)揮著難以替代的巨大作用。

本次課程主要探討和分享幾種典型的MEMS產(chǎn)品及其技術(shù)要素。通過剖析其細(xì)節(jié)，幫助大家揭開其神秘面紗。

2、講師介紹

文偉老師：

原海思無線模數(shù)芯片團隊資深專家

EDA365論壇特邀版主

曾就職于郵電部第一研究所TDMA項目組（核心骨干）、華為總體技術(shù)組核心成員（交換機技術(shù)奠基）、華為固網(wǎng)產(chǎn)品總體技術(shù)團隊（資深技術(shù)顧問，疑難核心技術(shù)專家）、海思無線產(chǎn)品模數(shù)芯片團隊（產(chǎn)品與技術(shù)研發(fā)負(fù)責(zé)人）

3、直播要點

MEMS產(chǎn)品概況、技術(shù)特點

MEMS原理透視

硅麥克風(fēng)、振蕩器、氣壓計、陀螺儀、數(shù)字微鏡

MEMS產(chǎn)品加工工藝情況

國內(nèi)外現(xiàn)狀與展望