光學(xué)薄膜測量設(shè)備是生產(chǎn)線上最常用的薄膜測量設(shè)備，其優(yōu)點是快速、精確，對被測樣品無損傷，可測量集成電路制造工藝中的各種透明介質(zhì)膜(如氧化物體膜、氮化物薄膜等)、半導(dǎo)體薄膜(如多晶硅薄膜、SiGe薄膜等)及很薄的導(dǎo)電類薄膜(如TIN薄膜、1薄膜、Ta薄膜、TaN薄膜等)。光學(xué)薄膜測量設(shè)備通?；跈E圓偏振技術(shù)測量透明薄膜，對光譜范圍內(nèi)的偏振變化進行分析，各種薄膜層提供高精度薄膜測量，由于膜應(yīng)力、折射率等物理性質(zhì)同樣需要橢圓偏振及干涉技術(shù)進行測量， 因此目前主流的膜厚測量設(shè)備同時集成了應(yīng)力測量、折射率測量等功能。

▌光學(xué)薄膜測量設(shè)備行業(yè)現(xiàn)狀分析

【行業(yè)集中度高】全球光學(xué)薄膜測量設(shè)備市場由KLA、Nova等企業(yè)主導(dǎo)，前兩大廠商占據(jù)全球約70%的份額。剩余市場由中國、日本等企業(yè)所占領(lǐng)。我國光學(xué)薄膜測量設(shè)備行業(yè)起步比較晚，國內(nèi)企業(yè)仍然處于弱勢地位。上海精測、上海睿勵在高端領(lǐng)域逐步替代進口，進入三星電子產(chǎn)線的試用體系。

【行業(yè)技術(shù)壁壘高】光學(xué)薄膜測量設(shè)備涵蓋多門學(xué)科的技術(shù)，包括計算機、自動化、電子、光學(xué)、微電子、測控等，為典型的技術(shù)密集、知識密集的高科技行業(yè)，?下游客戶對該設(shè)備的要求較高，技術(shù)壁壘也比較高。

【與下游客戶公司關(guān)系密切】光學(xué)薄膜測量設(shè)備在整個半導(dǎo)體制造設(shè)備領(lǐng)域占比比較小，但對最終產(chǎn)品性能影響很大，下游客戶對檢測及量測系統(tǒng)的可靠性、穩(wěn)定性和一致性要求較高，通常要經(jīng)過試用、認證，一旦認證通過達成合作，就會形成穩(wěn)定的合作關(guān)系。

▌全球光學(xué)薄膜測量設(shè)備總體規(guī)模分析

2021年全球光學(xué)薄膜測量設(shè)備市場規(guī)模達到了746.01百萬美元，預(yù)計2028年將達到4078.42百萬美元，年復(fù)合增長率（CAGR）為29.50%。地區(qū)層面來看，亞太地區(qū)是主要的消費市場，中國市場在過去幾年變化較快，2021年市場規(guī)模為75.94百萬美元，約占全球的10.18%，預(yù)計2028年將達到404.17百萬美元。

從產(chǎn)品類型及技術(shù)方面來看，光學(xué)薄膜測量設(shè)備行業(yè)可分為全自動和半自動設(shè)備，全自動設(shè)備是目前的主要類型，同時也將在未來占據(jù)重要地位，預(yù)計2028年市場份額達到59.34%；光學(xué)薄膜測量技術(shù)要有光譜反射儀和橢偏儀兩種。橢偏儀考慮了光的極化，采用P波和S偏振反射光之間的相位差異，適用于非常薄的薄膜，并可直接測試N，K值。光譜反射儀雖然沒有橢偏儀的這些性能，但也能測量數(shù)納米以下的薄膜厚度，測量精度高，而且測量速度較快。

從產(chǎn)品市場應(yīng)用情況來看，半導(dǎo)體仍然是光學(xué)薄膜設(shè)備最主要的應(yīng)用市場，2021年的市場規(guī)模為367.34百萬美元，約占全球的49.24%，預(yù)計2028年將達到2004.54百萬美元，年復(fù)合增長率（CAGR）為29.51%。

在諸多進入壁壘下，包括技術(shù)、資金、人才、客戶壁壘等，新進入者進入這個市場很難在短時間內(nèi)獲得很高的市場份額。全球光學(xué)薄膜測量設(shè)備市場從收入層面來講，有幾個主要參與者，如KLA、Nova、Onto?Innovation、上海睿勵等。2021年前五大廠商份額占比超過90.88%，預(yù)計未來幾年行業(yè)競爭將更加激烈，尤其在中國市場。市場不僅受價格影響，還受產(chǎn)品性能影響。龍頭企業(yè)具有性能更優(yōu)、產(chǎn)品種類更豐富、技術(shù)更優(yōu)的優(yōu)勢。

展望未來幾年，不同品牌之間的價格差距將會縮小。同樣毛利率也會有波動。盡管存在競爭問題，但由于全球復(fù)蘇趨勢略有回升，我們?nèi)钥春迷擃I(lǐng)域；未來仍會有更多新的投資進入該領(lǐng)域。

以上數(shù)據(jù)信息來源【2022-2028全球與中國光學(xué)薄膜測量設(shè)備市場現(xiàn)狀及未來發(fā)展趨勢】完整報告

本報告研究全球與中國市場光學(xué)薄膜測量設(shè)備的產(chǎn)能、產(chǎn)量、銷量、銷售額、價格及未來趨勢。重點分析全球與中國市場的主要廠商產(chǎn)品特點、產(chǎn)品規(guī)格、價格、銷量、銷售收入及全球和中國市場主要生產(chǎn)商的市場份額。歷史數(shù)據(jù)為2017至2021年，預(yù)測數(shù)據(jù)為2022至2028年。

詳情內(nèi)容參考恒州博智（QYResearch）調(diào)研機構(gòu)出版的完整版報告，