作為工業(yè)計(jì)量中重要的元器件，氣體質(zhì)量流量計(jì)／控制器目前仍以進(jìn)口為主，國產(chǎn)化替代需求迫切。不同于傳統(tǒng)的差壓、渦街等原理的體積型流量計(jì)，MEMS氣體質(zhì)量流量計(jì)是采用熱擴(kuò)散原理進(jìn)行高精確測量，即使是微小氣體也能精確測量，在被廣泛使用。為此IST流量傳感器在MFC中的應(yīng)用工采網(wǎng)推薦瑞士IST?質(zhì)量流量傳感器?－?FS5．0．1L．195的升級版IST－AG?FS7流量傳感器。福建中海德公司陳陳 1800-500-6971 FS5．0．1L．195是一個(gè)熱質(zhì)流量傳感器，用于各種氣流應(yīng)用．熱質(zhì)流量傳感器使用熱傳遞原則，確定流體的流率．隨著流體通過傳感器，熱質(zhì)由傳感器傳遞到媒體．此關(guān)序取決于流動速率．隨著流動增加，熱量被傳遞．通過了解媒體的溫度，即可通過為保持恒定溫度差的電壓補(bǔ)償量得出流速。