????????干涉儀是利用干涉原理測(cè)量光程之差從而測(cè)定有關(guān)物理量的光學(xué)儀器。兩束相干光間光程差的任何變化會(huì)非常靈敏地導(dǎo)致干涉條紋的移動(dòng)，而某一束相干光的光程變化是由它所通過的幾何路程或介質(zhì)折射率的變化引起，所以通過干涉條紋的移動(dòng)變化可測(cè)量幾何長(zhǎng)度或折射率的微小改變量，從而測(cè)得與此有關(guān)的其他物理量。測(cè)量精度決定于測(cè)量光程差的精度，干涉條紋每移動(dòng)一個(gè)條紋間距，光程差就改變一個(gè)波長(zhǎng)(～10-7米)，所以干涉儀是以光波波長(zhǎng)為單位測(cè)量光程差的，其測(cè)量精度之高是任何其他測(cè)量方法所無法比擬的。

????? ?臺(tái)階儀的測(cè)量原理是：當(dāng)觸針沿被測(cè)表面輕輕滑過時(shí)，由于表面有微小的峰谷使觸針在滑行的同時(shí)，還沿峰谷作上下運(yùn)動(dòng)。觸針的運(yùn)動(dòng)情況就反映了表面輪廓的情況。傳感器輸出的電信號(hào)經(jīng)測(cè)量電橋后，輸出與觸針偏離平衡位置的位移成正比的調(diào)幅信號(hào)。經(jīng)放大與相敏整流后，可將位移信號(hào)從調(diào)幅信號(hào)中解調(diào)出來，得到放大了的與觸針位移成正比的緩慢變化信號(hào)。再經(jīng)噪音濾波器、波度濾波器進(jìn)一步濾去調(diào)制頻率與外界干擾信號(hào)以及波度等因素對(duì)粗糙度測(cè)量的影響。那么臺(tái)階儀和干涉儀對(duì)樣品的要求有哪些呢？

1、樣品要求

白光干涉儀的對(duì)樣品的要求：

1. 樣品需平整；

2.樣品尺寸不超過50*50mm就可以。

臺(tái)階儀的樣品要求

1.樣品尺寸最好10*10mm左右

2.最大掃描區(qū)域是600*400um，超過這個(gè)區(qū)域需要拼接。

?2、測(cè)試范圍

????????白光干涉儀：能夠以優(yōu)于納米級(jí)的分辨率，非接觸測(cè)量樣品表面形貌的光學(xué)測(cè)量?jī)x器，用于表面形貌紋理，微觀結(jié)構(gòu)分析，用于測(cè)試各類表面并自動(dòng)聚焦測(cè)量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù)。

????????臺(tái)階儀：測(cè)量薄膜厚度，樣品形貌，表面粗糙度，翹度等信息。屬于微米級(jí)別，最大范圍0.5mm*0.5mm。

3、儀器特點(diǎn)

????????臺(tái)階儀不僅測(cè)量的精度十分高，并且量程也比較大，因此測(cè)量的結(jié)果可以說十分的穩(wěn)定，也有著十分可觀的重復(fù)性，但是由于測(cè)頭和測(cè)件之間避免不了相互接觸，因此長(zhǎng)久以往，臺(tái)階儀的測(cè)頭就十分容易變形，這也導(dǎo)致儀器使用一段時(shí)間后精度也會(huì)下降。由于測(cè)頭的硬度很多時(shí)候都很高，因此并不適合精密的零件以及質(zhì)軟的表面等物體的測(cè)量工作。

????????白光干涉儀與臺(tái)階儀相比具有以下優(yōu)點(diǎn)：一是非接觸高精密測(cè)量，不會(huì)劃傷甚至破壞工件；二是測(cè)量速度快，不必像探頭逐點(diǎn)進(jìn)行測(cè)量；三是不必作探頭半徑補(bǔ)正，光點(diǎn)位置就是工件表面測(cè)量的位置；四是對(duì)高深寬比的溝槽結(jié)構(gòu)，可以快速而精確的得到理想的測(cè)量結(jié)果。隨著白光干涉測(cè)量技術(shù)的發(fā)展和完善，白光干涉測(cè)量?jī)x器已經(jīng)得到了廣泛的應(yīng)用。在微電子、微機(jī)械、微光學(xué)等領(lǐng)域，白光干涉測(cè)量?jī)x器可以提供更高精度的檢測(cè)需求。

?4、應(yīng)用

????????白光干涉儀可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè)、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、國(guó)防軍工、科研院所等領(lǐng)域中?？蓽y(cè)各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國(guó)內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計(jì)300余種2D、3D參數(shù)作為評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)。

????????臺(tái)階儀主要應(yīng)用在金屬材料、生物材料、聚合物材料、陶瓷材料等各種材料表面的薄膜厚度，臺(tái)階高度，二維粗糙度（Ra,Rq,Rmax...），三維粗糙度（Sa,Sq,Smax），劃痕截面面積，劃痕體積，磨損面積，磨損體積，磨損深度，薄膜應(yīng)力（曲定量率半徑法）等定量測(cè)量。

? ? ????如果需要了解更多臺(tái)階儀儀測(cè)試相關(guān)內(nèi)容，可以聯(lián)系我們鑠思百檢測(cè)！鑠思百檢測(cè)作為華中地區(qū)領(lǐng)先的第三方權(quán)威機(jī)構(gòu)，與武漢眾多高校及其分析測(cè)試中心有交流合作。除臺(tái)階儀以外，掃描電鏡，透射電鏡，X射線電子能譜，熱重分析等測(cè)試都有豐富的經(jīng)驗(yàn)，歡迎聯(lián)系送樣測(cè)試！

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