氦質譜檢漏儀是一種質譜分析儀器，主要用于真空檢漏，性能好，靈敏度高。一般來說，氦質譜檢漏儀由質譜室、真空系統(tǒng)和電氣系統(tǒng)組成，有時還需要配置輔助的真空系統(tǒng)。以180°的磁偏轉型分析器檢漏儀舉例，其主要組成部分詳解如下。

一，質譜室

形象地說，質譜室是氦質譜泄漏檢測的心臟，由離子源、分析器和電氣系統(tǒng)三部分組成，冷陰極磁控規(guī)則也被放置在其中，并使用其磁場。為了有利于細微的粒子流放大，第一次放大也被放置在高阻力和靜電計管中。質譜室殼由非磁性材料制成，內部清空，外部設置永久磁鐵產生磁分析器的磁場。

二、真空系統(tǒng)

真空系統(tǒng)是提供質譜室正常運行的條件。由于鎢負極正常工作時需要0.001-0.01Pa真空值，確保氦離子在分析器中的運動具有較高的傳輸率，因此有必要建立一個高真空系統(tǒng)。系統(tǒng)中的節(jié)能閥是為了滿足質譜室工作壓力的調整。當閥門完全打開時，泄漏測量靈敏度較高，因此在條件允許的前提下打開較大的泄漏。為了糾正泄漏測量靈敏度，系統(tǒng)設置了標準泄漏。

三、電氣系統(tǒng)

氦質譜儀電氣部分的核心是質譜室的電源和測量，其他部分包括真空系統(tǒng)的電源和控制部分、控制面板和導出儀器。主要包括小電流放大器和導出設備、低頻發(fā)生器、高壓整流器和發(fā)射電流穩(wěn)定裝置，高壓整流器提供冷陰極磁控規(guī)則電源。

四、協(xié)助真空系統(tǒng)配置

在氦質譜儀泄漏測量技術中，根據(jù)結構、尺寸要求和具體泄漏測量條件，設置輔助真空系統(tǒng)，確保泄漏測量工作真空值，氣體分離，縮短反應時間和清除時間，減少對靈敏度的不利影響，在某些環(huán)境非常必要。

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