AFM測(cè)試原子力顯微鏡分辨率包括側(cè)向分辨率和垂直分辨率。

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圖像的側(cè)向分辨率決定于兩種因素：采集圖像的步寬(Step size)和針尖形狀

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1、 步寬因素

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原子力顯微鏡圖像由許多點(diǎn)組成，其采點(diǎn)的形式如圖所示.掃描器沿著齒形路線進(jìn)行掃描，計(jì)算機(jī)以一定的步寬取數(shù)據(jù)點(diǎn).以每幅圖像取512x 512數(shù)據(jù)點(diǎn)計(jì)算，掃描1μm x1μm尺寸圖像得到步寬為2nm(1μm/512)高質(zhì)量針尖可以提供1~2nm的分辨率.由此可知，在掃描樣品尺寸超過1μm x1μm時(shí)，AFM的側(cè)向分辨率是由采集圖像的步寬決定的。

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掃描管運(yùn)動(dòng)方向和數(shù)據(jù)點(diǎn)的采集

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2、針尖因素

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AFM成像實(shí)際上是針尖形狀與表面形貌作用的結(jié)果，針尖的形狀是影響側(cè)向分辨率的關(guān)鍵因素。

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針尖影響AFM成像主要表現(xiàn)在兩個(gè)方面：針尖的曲率半徑和針尖側(cè)面角，曲率半徑?jīng)Q定最高側(cè)向分辨率，而探針的側(cè)面角決定最高表面比率特征的探測(cè)能力。曲率半徑越小，越能分辨精細(xì)結(jié)構(gòu).

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不同曲率半徑的針尖對(duì)球形物成像時(shí)的掃描路線

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