智能數(shù)控超聲波清洗發(fā)生器電源鍵合壓頭超聲波發(fā)生器頻率追蹤電路，涉及半導(dǎo)體鍵合技術(shù)領(lǐng)域，包括超聲波反饋回路和頻率追蹤電路；所述超聲波反饋回路包括：高頻交流不平衡電橋和變壓器，所述變壓器輸出同相端與電感L的一端連接，電感L的另一端與交流不平衡電橋的一端連接，高頻交流不平衡電橋的另一端與變壓器的反相端連接。

智能數(shù)控超聲波清洗發(fā)生器電源交流不平衡電橋包括參比橋臂和測量橋臂自動頻率追蹤電路晶圓壓頭的的工作頻率，高頻脈沖互感器CT1、高頻脈沖互感器CT2、高頻脈沖互感器CT3；避免了每次更換壓頭要重新調(diào)整機(jī)器的工作頻率的麻煩，電路自動補(bǔ)償功率與振幅，精度高、功率穩(wěn)定，使用方便，而且故障率低，維護(hù)成本大幅減少，使用壽命更長。

智能數(shù)控超聲波清洗發(fā)生器電源包括 取樣信號Vab、Va和Vb通過各自的運(yùn)算放大器OPA調(diào)理至模數(shù)轉(zhuǎn)換模塊ADC模塊要求的輸入范圍； 數(shù)字信號處理器DSP通過數(shù)字總線獲得所述取樣信號Vab、Va和Vb的轉(zhuǎn)換值，通過算法計算出驅(qū)動信號的頻率、相位以及占空比； 通過IGBT驅(qū)動芯片控制IGBT橋式電路輸出所需的交流電壓； 所述交流電壓通過變壓器和電感電路后驅(qū)動換能器。