氦質(zhì)譜檢漏儀是一種新興的檢測(cè)儀器，它是一種利用質(zhì)譜原理檢測(cè)及分析氦氣漏失量的檢測(cè)儀器，可以對(duì)各種有毒、無毒、稀有氣體，如氦氣、氫氣和氬氣等漏失量進(jìn)行精確測(cè)量。

氦質(zhì)譜檢漏儀的工作原理是：將所測(cè)量的氣體通過質(zhì)譜檢測(cè)儀的真空室，先把氣體轉(zhuǎn)換成帶質(zhì)子的氣體離子，再通過質(zhì)譜檢測(cè)儀的檢測(cè)電極，將離子定向排列后由檢測(cè)電極收集，進(jìn)而測(cè)定出氣體漏失量。

氦質(zhì)譜檢漏儀的特點(diǎn)：

1、質(zhì)譜檢測(cè)儀的測(cè)量精度高，漏失量可以檢測(cè)到0.1ppm，檢測(cè)靈敏度高；

2、可測(cè)量各種有毒、無毒、稀有氣體，如氦氣、氫氣和氬氣等；

3、質(zhì)譜檢測(cè)儀的檢測(cè)效率高，可以在短時(shí)間內(nèi)完成檢測(cè)；

4、質(zhì)譜檢測(cè)儀的檢測(cè)成本低，檢測(cè)費(fèi)用低廉，可以實(shí)現(xiàn)高效檢測(cè)；

5、質(zhì)譜檢測(cè)儀的檢測(cè)環(huán)境要求低，能夠在常溫常壓下進(jìn)行檢測(cè)；

6、質(zhì)譜檢測(cè)儀的操作簡(jiǎn)單，一般人都能夠掌握操作方法，而且操作方便快捷； 7、質(zhì)譜檢測(cè)儀的維修保養(yǎng)簡(jiǎn)單，只需要定期更換部件，就可以保持其良好的檢測(cè)性能。

由以上特點(diǎn)可以看出，氦質(zhì)譜檢漏儀具有檢測(cè)精度高、檢測(cè)靈敏度好、檢測(cè)效率高、檢測(cè)成本低、檢測(cè)環(huán)境要求低、操作簡(jiǎn)單、維修保養(yǎng)簡(jiǎn)單等優(yōu)點(diǎn)，使其在檢測(cè)氦氣漏失量方面占據(jù)著重要的地位，在工業(yè)、航空、航天、軍事等領(lǐng)域都得到廣泛的應(yīng)用。

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