鈣鈦礦太陽能電池制備成套設備（一）
1、基片準備

FTO導電玻璃基底超聲清洗+紫外臭氧清洗

2、電子傳輸層制備

旋涂+500℃退火制備二氧化鈦致密層+二氧化鈦介孔層

3、鈣鈦礦層制備

旋涂+105℃退火制備鈣鈦礦層

4、空穴傳輸層制備

旋涂spiro層

5、電極層制備

蒸發(fā)150nm金電極

6、封裝+性能測試

鈣鈦礦太陽能電池制備成套設備（二）
1、基片準備

FTO導電玻璃基超聲清洗+紫外臭氧清洗

2、電子傳輸層制備

噴涂+退火制備二氧化鈦致密層+二氧化鈦介孔層

3、制備鈣鈦礦層

涂覆500-2000nm鈣鈦礦層

4、制備空穴傳輸層

涂覆50-200nm空穴傳輸層

5、電極層制備

蒸發(fā)沉積150nm金電極層

6、封裝+性能測試