蔡司三坐標(biāo)測量機區(qū)分了傳統(tǒng)和主動掃描。盡管它們都是基于連接探頭的探針移動來記錄表面數(shù)據(jù)，但是在功能性方面任有較大的差異。

傳統(tǒng)探頭系統(tǒng)使用彈簧來保持探針位于中部位置，并使用應(yīng)變儀來測量探針在被測表面移動式發(fā)生彎曲扭轉(zhuǎn)。主動探頭系統(tǒng)則使用軟件控制地電磁鐵以及力控制器，以保持探針上的穩(wěn)定且較低地受力。

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