半導體清洗設備行業(yè)發(fā)展概況和趨勢、競爭格局、主要玩家市場容量
半導體清洗設備行業(yè)發(fā)展概況和趨勢、競爭格局、主要玩家市場容量
1、半導體清洗設備行業(yè)發(fā)展概況和趨勢
半導體制造過程中不可避免會產(chǎn)生一些顆粒、有機物、自然氧化層、金屬雜質(zhì)等污染物，清洗機是指對晶圓表面進行無損傷清洗以去除雜質(zhì)，獲得所需潔凈表面，為下一步工藝準備良好條件的工藝設備。清洗機廣泛運用于集成電路制造中的成膜前/成膜后清洗、等離子刻蝕后清洗、離子注入后清洗、化學機械拋光后清洗和金屬沉積后清洗等各個環(huán)節(jié)，清洗技術是影響芯片良率的重要因素之一。隨著半導體制造工藝技術的不斷提升，芯片尺寸不斷縮小，對雜質(zhì)敏感度提升，清洗步驟也在不斷增加，90nm 的芯片清洗工藝約 90 道，20nm 的清洗工藝則達到了215 道，目前清洗步驟占整個半導體工藝所有步驟約 1/3，幾乎所有制作過程前后都需要清洗，為清洗設備帶來了廣闊的增長空間。
根據(jù)清洗介質(zhì)的不同，半導體清洗技術可以分為濕法清洗和干法清洗兩種。目前濕法清洗為主流的清洗技術，占總清洗步驟的 90%以上。濕法清洗是根據(jù)不同的工藝需求，主要是通過去離子水、清洗劑等對晶圓表面進行無損傷清洗，以去除晶圓制造過程中的雜質(zhì)。干法清洗是指不使用化學溶劑，采用氣態(tài)的氫氟酸刻蝕不規(guī)則分布的有結構的晶圓二氧化硅層，雖然具有對不同薄膜有高選擇比的優(yōu)點，但可清洗污染物比較單一，目前主要在 28nm 及以下技術節(jié)點的邏輯產(chǎn)品和存儲產(chǎn)品有應用。根據(jù)清洗方法的不同，濕法清洗包括溶液浸泡法、機械刷洗法、二流體清洗、超聲波清洗、兆聲波清洗、批式旋轉噴淋法六種方法，干法清洗包括等離子清洗、氣相清洗和束流清洗三種方法。
目前主流的濕法清洗設備主要包括單片清洗設備、槽式清洗設備、組合式清洗設備和批式旋轉噴淋清洗設備等，其中單片清洗設備市場份額占比最高。濕法清洗工藝路線下主流的清洗設備存在先進程度的區(qū)分，主要體現(xiàn)在可清洗顆粒大小、金屬污染、腐蝕均一性以及干燥技術等標準。
制圖：普華有策
2、半導體清洗設備行業(yè)競爭格局
全球前五大廠分別是應用材料、阿斯麥、東京電子、泛林科技和科天半導體，來自美國、日本和荷蘭。憑借完整的產(chǎn)業(yè)鏈和豐富的技術專利積累，美日歐等發(fā)達國家在半導體領域長期保持了全面領先。
半導體清洗設備市場集中度非常高，海外企業(yè)占據(jù)主導地位。全球半導體清洗設備主要被日本 DNS（迪恩士）、東京電子、泛林科技和 SEMES（韓國細美事）等企業(yè)主導，上述企業(yè)清洗設備合計占比超過全球市場 90%，產(chǎn)業(yè)集中度較高。
得益于產(chǎn)業(yè)轉移與國家政策支持，中國大陸半導體設備行業(yè)全方位成長，國產(chǎn)半導體設備廠商通過自主研發(fā)，在半導體刻蝕、沉積、清洗等方面實現(xiàn)了設備的國產(chǎn)化替代，并進入量產(chǎn)階段。
隨著國內(nèi)企業(yè)核心技術和工藝能力的提升，以及在客戶認證方面的不斷進展，未來刻蝕、清洗設備有望成為顯著受益國內(nèi)市場需求發(fā)展的賽道，成為半導體設備行業(yè)國產(chǎn)替代的先鋒。中國大陸半導體設備銷售額前五大廠商為北方華創(chuàng)、中微公司、盛美上海、長川科技、新益昌，清洗設備廠商主要有盛美上海、北方華創(chuàng)、芯源微、至純科技和提?？萍嫉?，產(chǎn)業(yè)集中度較高。
3、半導體清洗設備行業(yè)內(nèi)主要企業(yè)
中國大陸從事半導體清洗設備的企業(yè)有盛美上海、北方華創(chuàng)、芯源微、至純科技和提牛科技。
（1）盛美上海
盛美上海是中國大陸半導體濕法設備龍頭企業(yè)，產(chǎn)品主要分為半導體清洗設備、半導體電鍍設備和先進封裝濕法設備三大類，其中半導體清洗設備收入占全部主營業(yè)務收入的比例最高，其主要產(chǎn)品為集成電路領域的單片清洗設備，其中包括單片SAPS 兆聲波清洗設備、單片 TEBO 兆聲波清洗設備、單片背面清洗設備、單片前道刷洗設備、槽式清洗設備、單片槽式組合清洗設備等，產(chǎn)品線較為豐富。
（2）北方華創(chuàng)
北方華創(chuàng)是品類最齊全的國產(chǎn)半導體設備龍頭，主營業(yè)務包括半導體設備、真空設備和電子元器件等，其半導體業(yè)務覆蓋了刻蝕、沉積、清洗等主要半導體制造設備，產(chǎn)品體系豐富，在半導體清洗設備領域的主要產(chǎn)品包括單片清洗設備及全自動槽式清洗設備，其 12 英寸單片清洗機采用單片晶圓旋轉濕法清洗技術，此設備具有清洗選擇性好、清洗效率高等技術，包括化學藥液保護系統(tǒng)、管路防靜電系統(tǒng)、兆聲波系統(tǒng)等，在保證不損傷產(chǎn)品本身結構的前提下，選擇性的清洗殘留物。
（3）芯源微
芯源微主要產(chǎn)品包括光刻工序涂膠顯影設備(涂膠/顯影機、噴膠機)和單片式濕法設備（包括清洗機、去膠機、濕法刻蝕機），產(chǎn)品可用于 6 英寸及以下單晶圓處理（如 LED 芯片制造環(huán)節(jié)）及 8/12 英寸單晶圓處理。
（4）提?？萍?/strong>
提?？萍脊局饕獜氖掳雽w清洗設備和中央供液系統(tǒng)（CDS）的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售和服務，主要產(chǎn)品或服務包括半導體槽式清洗設備、部件清洗設備、中央供液系統(tǒng)以及相關改造服務、工程服務和配件銷售。清洗設備覆蓋了 8 英寸、
6 英寸、4 英寸晶圓的清洗。
（5）至純科技
至純科技主營業(yè)務主要包括半導體制程設備、工藝支持設備的研發(fā)和生產(chǎn)銷售，以及由此衍生的高純工藝系統(tǒng)建設、電子材料、部件清洗及晶圓再生等服務。至純科技目前超過 70%的業(yè)務在半導體領域，提供槽式設備及單片機設備覆蓋目前國內(nèi)產(chǎn)線成熟工藝及先進工藝涉及的全部濕法工藝。至純科技提供的濕法設備可以應用在先進工藝上，主要為存儲（DRAM、3DFlash）、先進邏輯產(chǎn)品，還覆蓋一些特殊工藝上，例如薄片工藝、化合物半導體、金屬剝離制程等。
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目錄
第一章 半導體清洗設備行業(yè)相關概述
第一節(jié) 半導體清洗設備行業(yè)定義及分類
一、行業(yè)定義
二、行業(yè)特性及在國民經(jīng)濟中的地位及影響
第二節(jié) 半導體清洗設備行業(yè)特點及模式
一、半導體清洗設備行業(yè)發(fā)展特征
二、半導體清洗設備行業(yè)經(jīng)營模式
第三節(jié) 半導體清洗設備行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈分析
一、產(chǎn)業(yè)鏈結構
二、半導體清洗設備行業(yè)主要上游2017-2022年供給規(guī)模分析
三、半導體清洗設備行業(yè)主要上游2017-2022年價格分析
四、半導體清洗設備行業(yè)主要上游2023-2029年發(fā)展趨勢分析
五、半導體清洗設備行業(yè)主要下游2017-2022年發(fā)展概況分析
六、半導體清洗設備行業(yè)主要下游2023-2029年發(fā)展趨勢分析
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第二章 半導體清洗設備行業(yè)全球發(fā)展分析
第一節(jié) 全球半導體清洗設備市場總體情況分析
一、全球半導體清洗設備行業(yè)的發(fā)展特點
二、全球半導體清洗設備市場結構
三、全球半導體清洗設備行業(yè)市場規(guī)模分析
四、全球半導體清洗設備行業(yè)競爭格局
五、全球半導體清洗設備市場區(qū)域分布
第二節(jié) 全球主要國家（地區(qū)）市場分析
一、歐洲
1、歐洲半導體清洗設備行業(yè)市場規(guī)模
2、歐洲半導體清洗設備市場結構
3、2023-2029年歐洲半導體清洗設備行業(yè)發(fā)展前景預測
二、北美
1、北美半導體清洗設備行業(yè)市場規(guī)模
2、北美半導體清洗設備市場結構
3、2023-2029年北美半導體清洗設備行業(yè)發(fā)展前景預測
三、日韓
1、日韓半導體清洗設備行業(yè)市場規(guī)模
2、日韓半導體清洗設備市場結構
3、2023-2029年日韓半導體清洗設備行業(yè)發(fā)展前景預測
四、其他
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第三章 《國民經(jīng)濟行業(yè)分類與代碼》中半導體清洗設備所屬行業(yè)2023-2029年規(guī)劃概述
第一節(jié) 2017-2022年所屬行業(yè)發(fā)展回顧
一、2017-2022年所屬行業(yè)運行情況
二、2017-2022年所屬行業(yè)發(fā)展特點
三、2017-2022年所屬行業(yè)發(fā)展成就
第二節(jié) 半導體清洗設備行業(yè)所屬行業(yè)2023-2029年規(guī)劃解讀
一、2023-2029年規(guī)劃的總體戰(zhàn)略布局
二、2023-2029年規(guī)劃對經(jīng)濟發(fā)展的影響
三、2023-2029年規(guī)劃的主要目標
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第四章 2023-2029年行業(yè)發(fā)展環(huán)境分析
第一節(jié) 2023-2029年世界經(jīng)濟發(fā)展趨勢
第二節(jié) 2023-2029年我國經(jīng)濟面臨的形勢
第三節(jié) 2023-2029年我國對外經(jīng)濟貿(mào)易預測
第四節(jié)2023-2029年行業(yè)技術環(huán)境分析
一、行業(yè)相關技術
二、行業(yè)專利情況
1、中國半導體清洗設備專利申請
2、中國半導體清洗設備專利公開
3、中國半導體清洗設備熱門申請人
4、中國半導體清洗設備熱門技術
第五節(jié)2023-2029年行業(yè)社會環(huán)境分析
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第五章 普華有策對半導體清洗設備行業(yè)總體發(fā)展狀況
第一節(jié) 半導體清洗設備行業(yè)特性分析
第二節(jié) 半導體清洗設備產(chǎn)業(yè)特征與行業(yè)重要性
第三節(jié) 2017-2022年半導體清洗設備行業(yè)發(fā)展分析
一、2017-2022年半導體清洗設備行業(yè)發(fā)展態(tài)勢分析
二、2017-2022年半導體清洗設備行業(yè)發(fā)展特點分析
三、2023-2029年區(qū)域產(chǎn)業(yè)布局與產(chǎn)業(yè)轉移
第四節(jié) 2017-2022年半導體清洗設備行業(yè)規(guī)模情況分析
一、行業(yè)單位規(guī)模情況分析
二、行業(yè)人員規(guī)模狀況分析
三、行業(yè)資產(chǎn)規(guī)模狀況分析
四、行業(yè)市場規(guī)模狀況分析
第五節(jié) 2017-2022年半導體清洗設備行業(yè)財務能力分析與2023-2029年預測
一、行業(yè)盈利能力分析與預測
二、行業(yè)償債能力分析與預測
三、行業(yè)營運能力分析與預測
四、行業(yè)發(fā)展能力分析與預測
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第六章 POLICY對2023-2029年我國半導體清洗設備市場供需形勢分析
第一節(jié) 我國半導體清洗設備市場供需分析
一、2017-2022年我國半導體清洗設備行業(yè)供給情況
二、2017-2022年我國半導體清洗設備行業(yè)需求情況
1、半導體清洗設備行業(yè)需求市場
2、半導體清洗設備行業(yè)客戶結構
3、半導體清洗設備行業(yè)區(qū)域需求結構
三、2017-2022年我國半導體清洗設備行業(yè)供需平衡分析
第二節(jié) 半導體清洗設備產(chǎn)品市場應用及需求預測
一、半導體清洗設備產(chǎn)品應用市場總體需求分析
1、半導體清洗設備產(chǎn)品應用市場需求特征
2、半導體清洗設備產(chǎn)品應用市場需求總規(guī)模
二、2023-2029年半導體清洗設備行業(yè)領域需求量預測
1、2023-2029年半導體清洗設備行業(yè)領域需求產(chǎn)品功能預測
2、2023-2029年半導體清洗設備行業(yè)領域需求產(chǎn)品市場格局預測
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第七章 我國半導體清洗設備行業(yè)運行分析
第一節(jié) 我國半導體清洗設備行業(yè)發(fā)展狀況分析
一、我國半導體清洗設備行業(yè)發(fā)展階段
二、我國半導體清洗設備行業(yè)發(fā)展總體概況
第二節(jié) 2017-2022年半導體清洗設備行業(yè)發(fā)展現(xiàn)狀
一、2017-2022年我國半導體清洗設備行業(yè)市場規(guī)模
二、2017-2022年我國半導體清洗設備行業(yè)發(fā)展分析
三、2017-2022年中國半導體清洗設備企業(yè)發(fā)展分析
第三節(jié) 2017-2022年半導體清洗設備市場情況分析
一、2017-2022年中國半導體清洗設備市場總體概況
二、2017-2022年中國半導體清洗設備市場發(fā)展分析
第四節(jié) 我國半導體清洗設備市場價格走勢分析
一、半導體清洗設備市場定價機制組成
二、半導體清洗設備市場價格影響因素
三、2017-2022年半導體清洗設備價格走勢分析
四、2023-2029年半導體清洗設備價格走勢預測
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第八章 POLICY對中國半導體清洗設備市場規(guī)模分析
第一節(jié) 2017-2022年中國半導體清洗設備市場規(guī)模分析
第二節(jié) 2017-2022年我國半導體清洗設備區(qū)域結構分析
第三節(jié) 2017-2022年中國半導體清洗設備區(qū)域市場規(guī)模
一、2017-2022年東北地區(qū)市場規(guī)模分析
二、2017-2022年華北地區(qū)市場規(guī)模分析
三、2017-2022年華東地區(qū)市場規(guī)模分析
四、2017-2022年華中地區(qū)市場規(guī)模分析
五、2017-2022年華南地區(qū)市場規(guī)模分析
六、2017-2022年西部地區(qū)市場規(guī)模分析
第四節(jié) 2023-2029年中國半導體清洗設備區(qū)域市場前景預測
一、2023-2029年東北地區(qū)市場前景預測
二、2023-2029年華北地區(qū)市場前景預測
三、2023-2029年華東地區(qū)市場前景預測
四、2023-2029年華中地區(qū)市場前景預測
五、2023-2029年華南地區(qū)市場前景預測
六、2023-2029年西部地區(qū)市場前景預測
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第九章 普●華●有●策對2023-2029年半導體清洗設備行業(yè)產(chǎn)業(yè)結構調(diào)整分析
第一節(jié) 半導體清洗設備產(chǎn)業(yè)結構分析
一、市場細分充分程度分析
二、下游應用領域需求結構占比
三、領先應用領域的結構分析（所有制結構）
第二節(jié) 產(chǎn)業(yè)價值鏈條的結構分析及產(chǎn)業(yè)鏈條的整體競爭優(yōu)勢分析
一、產(chǎn)業(yè)價值鏈條的構成
二、產(chǎn)業(yè)鏈條的競爭優(yōu)勢與劣勢分析
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第十章 半導體清洗設備行業(yè)競爭力優(yōu)勢分析
第一節(jié) 半導體清洗設備行業(yè)競爭力優(yōu)勢分析
一、行業(yè)整體競爭力評價
二、行業(yè)競爭力評價結果分析
三、競爭優(yōu)勢評價及構建建議
第二節(jié) 中國半導體清洗設備行業(yè)競爭力剖析
第三節(jié) 半導體清洗設備行業(yè)SWOT分析
一、半導體清洗設備行業(yè)優(yōu)勢分析
二、半導體清洗設備行業(yè)劣勢分析
三、半導體清洗設備行業(yè)機會分析
四、半導體清洗設備行業(yè)威脅分析
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第十一章 2023-2029年半導體清洗設備行業(yè)市場競爭策略分析
第一節(jié) 行業(yè)總體市場競爭狀況分析
一、半導體清洗設備行業(yè)競爭結構分析
1、現(xiàn)有企業(yè)間競爭
2、潛在進入者分析
3、替代品威脅分析
4、供應商議價能力
5、客戶議價能力
6、競爭結構特點總結
二、半導體清洗設備行業(yè)企業(yè)間競爭格局分析
1、不同規(guī)模企業(yè)競爭格局
2、不同所有制企業(yè)競爭格局
3、不同區(qū)域企業(yè)競爭格局
三、半導體清洗設備行業(yè)集中度分析
1、市場集中度分析
2、企業(yè)集中度分析
3、區(qū)域集中度分析
第二節(jié) 中國半導體清洗設備行業(yè)競爭格局綜述
一、半導體清洗設備行業(yè)競爭概況
二、重點企業(yè)市場份額占比分析
三、半導體清洗設備行業(yè)主要企業(yè)競爭力分析
1、重點企業(yè)資產(chǎn)總計對比分析
2、重點企業(yè)從業(yè)人員對比分析
3、重點企業(yè)營業(yè)收入對比分析
4、重點企業(yè)利潤總額對比分析
5、重點企業(yè)負債總額對比分析
第三節(jié) 2017-2022年半導體清洗設備行業(yè)競爭格局分析
一、國內(nèi)主要半導體清洗設備企業(yè)動向
二、國內(nèi)半導體清洗設備企業(yè)擬在建項目分析
三、我國半導體清洗設備市場集中度分析
第四節(jié) 半導體清洗設備企業(yè)競爭策略分析
一、提高半導體清洗設備企業(yè)競爭力的策略
二、影響半導體清洗設備企業(yè)核心競爭力的因素及提升途徑
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第十二章 普華有策對行業(yè)重點企業(yè)發(fā)展形勢分析
第一節(jié) 企業(yè)五
一、企業(yè)概況及半導體清洗設備產(chǎn)品介紹
二、企業(yè)核心競爭力分析
三、企業(yè)主要利潤指標分析
四、2017-2022年主要經(jīng)營數(shù)據(jù)指標
五、企業(yè)發(fā)展戰(zhàn)略規(guī)劃
第二節(jié) 企業(yè)二
一、企業(yè)概況及半導體清洗設備產(chǎn)品介紹
二、企業(yè)核心競爭力分析
三、企業(yè)主要利潤指標分析
四、2017-2022年主要經(jīng)營數(shù)據(jù)指標
五、企業(yè)發(fā)展戰(zhàn)略規(guī)劃
第三節(jié) 企業(yè)三
一、企業(yè)概況及半導體清洗設備產(chǎn)品介紹
二、企業(yè)核心競爭力分析
三、企業(yè)主要利潤指標分析
四、2017-2022年主要經(jīng)營數(shù)據(jù)指標
五、企業(yè)發(fā)展戰(zhàn)略規(guī)劃
第四節(jié) 企業(yè)四
一、企業(yè)概況及半導體清洗設備產(chǎn)品介紹
二、企業(yè)核心競爭力分析
三、企業(yè)主要利潤指標分析
四、2017-2022年主要經(jīng)營數(shù)據(jù)指標
五、企業(yè)發(fā)展戰(zhàn)略規(guī)劃
第五節(jié) 企業(yè)五
一、企業(yè)概況及半導體清洗設備產(chǎn)品介紹
二、企業(yè)核心競爭力分析
三、企業(yè)主要利潤指標分析
四、2017-2022年主要經(jīng)營數(shù)據(jù)指標
五、企業(yè)發(fā)展戰(zhàn)略規(guī)劃
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第十三章 普●華●有●策對2023-2029年半導體清洗設備行業(yè)投資前景展望
第一節(jié) 半導體清洗設備行業(yè)2023-2029年投資機會分析
一、半導體清洗設備行業(yè)典型項目分析
二、可以投資的半導體清洗設備模式
三、2023-2029年半導體清洗設備投資機會
第二節(jié) 2023-2029年半導體清洗設備行業(yè)發(fā)展預測分析
一、產(chǎn)業(yè)集中度趨勢分析
二、2023-2029年行業(yè)發(fā)展趨勢
三、2023-2029年半導體清洗設備行業(yè)技術開發(fā)方向
四、總體行業(yè)2023-2029年整體規(guī)劃及預測
第三節(jié) 2023-2029年規(guī)劃將為半導體清洗設備行業(yè)找到新的增長點
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第十四章 普●華●有●策對 2023-2029年半導體清洗設備行業(yè)發(fā)展趨勢及投資風險分析
第一節(jié) 2017-2022年半導體清洗設備存在的問題
第二節(jié) 2023-2029年發(fā)展預測分析
一、2023-2029年半導體清洗設備發(fā)展方向分析
二、2023-2029年半導體清洗設備行業(yè)發(fā)展規(guī)模預測
三、2023-2029年半導體清洗設備行業(yè)發(fā)展趨勢預測
四、2023-2029年半導體清洗設備行業(yè)發(fā)展重點
第三節(jié) 2023-2029年行業(yè)進入壁壘分析
一、技術壁壘分析
二、資金壁壘分析
三、政策壁壘分析
四、其他壁壘分析
第四節(jié) 2023-2029年半導體清洗設備行業(yè)投資風險分析
一、競爭風險分析
二、原材料風險分析
三、人才風險分析
四、技術風險分析
五、其他風險分析
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