半導(dǎo)體設(shè)備真空系統(tǒng)出現(xiàn)故障一般分為兩類:一是真空泵組及測量系統(tǒng)的故障, 另一個是真空系統(tǒng)的泄漏。對于第一類故障, 檢測真空泵的極限真空度或更換好的真空計就可以確認。對于第二類故障則需要檢漏。在對半導(dǎo)體設(shè)備檢漏時常使用兩種方法: 靜壓檢漏法和氦質(zhì)譜檢漏法。靜壓檢漏法就是用閥門將真空室與真空泵組隔開, 測量其內(nèi)部壓強的變化。氦質(zhì)譜檢漏法要復(fù)雜一些。

氦質(zhì)譜檢漏儀一般需要拿到現(xiàn)場去，檢漏儀內(nèi)有分子泵，因此搬運時要輕拿輕放。常常選擇檢漏儀高靈敏度方式來檢漏，這有利于維護分子泵。

檢漏儀的抽氣能力有限, 因此常常需要設(shè)備自己抽好真空。真空抽到0.5~10Pa就行。等到漏率顯示穩(wěn)定或由穩(wěn)定轉(zhuǎn)成減少后再開始檢漏。在檢漏過程中如果需要對門閥、粗抽閥、放氣閥等進行操作, 則必需先讓檢漏儀停止檢漏并選擇檢漏口不放氣, 避免真空室突然進入大量氣體而損壞檢漏儀。真空抽到后應(yīng)該關(guān)上門閥和粗抽閥, 以免分流導(dǎo)致漏率測量值小于實際值。

最好停掉設(shè)備上的分子泵和機械泵, 從而避免它們的干擾; 有冷泵的設(shè)備要想檢漏徹底應(yīng)該停掉冷泵。用真空法檢測雙密封結(jié)構(gòu)產(chǎn)品漏率時, 常有漏率/ 緩慢升高的現(xiàn)象發(fā)生, 因此在檢漏過程中要注意這一點。另外, 要求氦袋不漏氣, 一般要求噴出的氦 流量少, 這樣有利于確認漏點位置, 但是也有特殊情況, 需要在某些氦 不易到達的地方噴出較多氦, 以避免漏檢。檢漏時加裝的波紋管不能檢漏, 發(fā)現(xiàn)漏點后要進行第二次確認, 漏點維修后要再進行檢漏確認。

半導(dǎo)體設(shè)備真空部分有許多部件, 如果一個部件漏率較大, 很容易導(dǎo)致高真空抽不上去。半導(dǎo)體設(shè)備的真空疑難故障大多是微漏導(dǎo)致高真空抽不上。真空檢漏的難點是要重視操作的細節(jié)部分, 要有耐心。此外, 選擇國產(chǎn)高真空計時要留有余地,否則將無法顯示期望的高真空度。