大家好，我是消達(dá)人董工，專注于臭氧，幫您解決臭氧消毒、氧化問題。

今天分享的話題是用臭氧水清洗半導(dǎo)體晶圓或者芯片，效果怎樣？

我們一個做芯片的外資客戶，用超純水清洗半導(dǎo)體晶圓，

經(jīng)過EDI,反滲透工藝的超純水，到純水箱是沒有細(xì)菌，

盡管客戶清洗半導(dǎo)體晶圓用水，充了氮氣保護(hù)，

但水箱后的管道，一段時間會滋生細(xì)菌；

這個時候要用臭氧水消毒，分解的是氧氣，無殘留物。

水量比較大，型號建議XDR-50Y，或者Y系列氧氣型臭氧發(fā)生器。

接通臭氧后，經(jīng)測試，半導(dǎo)體晶圓清洗臭氧水出口＞2mg/l, 管道里面的臭氧水濃度，1.0~2.0，

反復(fù)清洗了一天，超純水管道達(dá)到了17兆歐。

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