一：簡介

????????白光干涉儀是目前三維形貌測量領域高精度的檢測儀器之一。在同等放大倍率下，測量精度和重復性都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡。在一些納米或者亞納米級別的超高精度加工領域，除了白光干涉儀，其它儀器達不到檢測的精度要求。

????????臺階儀屬于接觸式表面形貌測量儀器。當觸針沿被測表面輕輕滑過時，由于表面有微小的峰谷使觸針在滑行的同時，還沿峰谷作上下運動。觸針的運動情況就反映了表面輪廓的情況。臺階儀測量精度較高、量程大、測量結果穩(wěn)定可靠、重復性好，此外它還可以作為其它形貌測量技術的比對。

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二：工作原理

????????白光干涉儀是用于對各種精密器件表面進行納米級測量的儀器，它是以白光干涉技術為原理，光源發(fā)出的光經過擴束準直后經分光棱鏡后分成兩束，一束經被測表面反射回來，另外一束光經參考鏡反射，兩束反射光最終匯聚并發(fā)生干涉，顯微鏡將被測表面的形貌特征轉化為干涉條紋信號，通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌。白光干涉儀專用于非接觸式快速測量，精密零部件之重點部位的表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸，其測量精度可以達到納米級。目前，在3D測量領域，白光干涉儀是精度最高的測量儀器之一。

????????臺階儀屬于接觸式表面形貌測量儀器。根據使用傳感器的不同，接觸式臺階測量可以分為電感式、壓電式和光電式3種。其測量原理是:當觸針沿被測表面輕輕滑過時，由于表面有微小的峰谷使觸針在滑行的同時，還沿峰谷作上下運動。觸針的運動情況就反映了表面輪廓的情況。傳感器輸出的電信號經測量電橋后，輸出與觸針偏離平衡位置的位移成正比的調幅信號。經放大與相敏整流后，可將位移信號從調幅信號中解調出來，得到放大了的與觸針位移成正比的緩慢變化信號。再經噪音濾波器、波度濾波器進一步濾去調制頻率與外界干擾信號以及波度等因素對粗糙度測量的影響。

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