XRF測試作為常用測試之一，但仍有許多同學(xué)不太了解，本篇文章由科學(xué)指南針科研服務(wù)平臺給大家介紹X射線熒光光譜分析概述。

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X射線熒光光譜分析（X Ray Fluorescence，XRF）是固體物質(zhì)成分分析的常規(guī)檢測手段，也是一種重要的表面/表層分析方法。由于整體技術(shù)和分光晶體研制發(fā)展所限，早期的X 射線熒光光譜儀檢測范圍較窄，靈敏度較差。隨著測角儀、計數(shù)器、光譜室溫度穩(wěn)定等新技術(shù)的進(jìn)步，使現(xiàn)代X 射線熒光光譜儀的測量精密度與準(zhǔn)確度有了較大改善。特別是人工合成多層膜晶體的開發(fā)應(yīng)用使輕元素鈹、硼、碳、氮、氧等的X 射線熒光光譜分析分析成為可能，這類晶體是由低原子序數(shù)和高原子序數(shù)物質(zhì)以納米級厚度交替疊積而成， 其層間厚度可以人工控制，如OVO－B 晶體的間距為20 納米，適用于硼和鈹?shù)姆治?。由于X 射線管的功率增大，鈹窗減薄， X 射線管與樣品的距離縮短，為輕元素分析配備了超粗準(zhǔn)直器，降低了元素的檢出限，技術(shù)發(fā)展使現(xiàn)代X 射線熒光光譜儀的檢測范圍可達(dá)到4Be(鈹)～92U(鈾)，對元素的檢測范圍為10-6%～100%。

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