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FFU適用于哪些無塵室

2023-03-31 16:50 作者:蘇州萬博風(fēng)淋  | 我要投稿

FFU適用半導(dǎo)體材料、電子器件、觸控顯示屏和硬盤驅(qū)動器生產(chǎn)廠家及電子光學(xué)、微生物工業(yè)生產(chǎn)以及其它對空氣中的環(huán)境污染有嚴格管理規(guī)定的區(qū)域。以得天獨厚的優(yōu)勢合理價格快速搶占市場。

相對高度低,控制系統(tǒng)設(shè)計時需節(jié)約制動氣室室內(nèi)空間。輕量總體設(shè)計,可合乎各生產(chǎn)廠家的Grid系統(tǒng)組裝,更所依Grid系統(tǒng),變動FFU截面尺寸設(shè)計方案。內(nèi)部結(jié)構(gòu)設(shè)備導(dǎo)光板.氣壓蔓延勻稱,出風(fēng)面風(fēng)力均值平穩(wěn)。金屬構(gòu)件順豐道里膽,絕不衰老.避免二次污染出現(xiàn),表面光潔,空氣阻力低.隔音優(yōu)質(zhì)。獨特入出風(fēng)口,風(fēng)道設(shè)計,減少風(fēng)阻與噪聲的形成。


電機工作效率高,系統(tǒng)軟件耗費電流量低,節(jié)約能源成本費。單相電電機,給予三段式變速,所依實際情況提高或減少風(fēng)力與排風(fēng)量。凈化車間的溫度濕度主要根據(jù)工藝標(biāo)準來決定,但達到工藝標(biāo)準的條件下,應(yīng)注意到你的舒適性感。伴隨著空氣潔凈度規(guī)定的提升,出現(xiàn)加工工藝對溫度濕度的需求也越來越嚴格的態(tài)勢。

實際加工工藝對溫度的需求之后還要例舉,但是作為總體標(biāo)準看,考慮到尺寸精度愈來愈細致,因此對溫度變化區(qū)域范圍規(guī)定愈來愈小。比如在大規(guī)模集成電路制造的光刻技術(shù)曝出制造過程中,做為掩膜板原材料玻璃與硅片的線膨脹系數(shù)的差規(guī)定愈來愈小。


孔徑100um的單晶硅片,溫度升高1度,就引起了0.24um線性澎漲,所以必須要有±0.1多度控溫,并要求環(huán)境濕度值一般比較低,由于人出汗之后,對產(chǎn)品質(zhì)量把有環(huán)境污染,尤其是怕鋅的半導(dǎo)體材料生產(chǎn)車間,這類生產(chǎn)車間環(huán)境溫度不應(yīng)超過25度,濕度太高所產(chǎn)生的難題大量。空氣濕度超出55%時,冷卻管內(nèi)壁會冷凝水,如果出現(xiàn)在高精密設(shè)備或電路板上,就會引發(fā)各種各樣安全事故。

空氣濕度在50%最易銹蝕。除此之外,濕度過高時把根據(jù)空氣中的水分子把單晶硅片表層黏著的塵土化學(xué)吸附在表面上無法消除??諝鉂穸仍酱?黏附的很難除掉,但是當(dāng)空氣濕度少于30%時,又因為靜電感應(yīng)力作用使顆粒也很容易吸咐于表層,與此同時很多半導(dǎo)體元器件很容易發(fā)生穿透。針對硅片生產(chǎn)最佳濕度范圍為35—45%。


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