? ? ?四氟化碳也叫作四氟甲烷，全氟甲烷，四氟化碳的化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定，可以直接與硅接觸不會(huì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，在適當(dāng)?shù)臈l件下，與氧化劑和還原劑會(huì)發(fā)生反應(yīng)。與可燃性氣體一起燃燒時(shí)，發(fā)生分解，產(chǎn)生的氧化物有毒。除此之外，還可以用作制冷劑為R14。

四氟化碳物理性質(zhì):

熔點(diǎn)-183.6℃

臨界溫度-45.67℃

沸點(diǎn)-128.1℃

臨界壓力3.73MPa

液體密度（-130℃）1.613g/cm3

臨界密度7.1dm3/mol

液體折光率（-173℃）1.515

標(biāo)準(zhǔn)摩爾生成焓-932.31 kJ/mol

固體轉(zhuǎn)變點(diǎn)72.2K

標(biāo)準(zhǔn)摩爾生成熵261.04J/（mol.K）

標(biāo)準(zhǔn)摩爾自由能-929.84 kJ/mol

標(biāo)準(zhǔn)摩爾生成自由能-887.41 kJ/mol

四氟化碳熱導(dǎo)率:

溫度（K） 熱導(dǎo)率（10-4瓦/米.K）

300 185

500 310

350 216

600 373

400 249

700 435

450 279

四氟化碳CF4

? ? ? R14屬于FC類物質(zhì)——對(duì)臭氧層沒有破壞、但存在溫室效應(yīng)，目前對(duì)于R14制冷劑的生產(chǎn)、銷售以及在新制冷設(shè)備上的初裝、售后設(shè)備上的再添加均沒有限制。

? ? ? R14作為一款特種超低溫制冷劑，主要應(yīng)用于要求溫度非常低的深冷設(shè)備中（包括科研制冷、醫(yī)用制冷等），R14同時(shí)也是超低溫配合冷媒的重要組分。四氟化碳（四氟甲烷）是目前微電子工業(yè)中用量最大的等離子蝕刻氣體，其高純氣及四氟甲烷高純氣配高純氧氣的混合氣，可廣泛應(yīng)用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及鎢等薄膜材料的蝕刻，在電子器件表面清洗、太陽(yáng)能電池的生產(chǎn)、激光技術(shù)、氣相絕緣、泄漏檢驗(yàn)劑、印刷電路生產(chǎn)中的去污劑等方面也大量使用。

? ? ? R14制冷劑鋼瓶為高壓容器，儲(chǔ)存時(shí)應(yīng)遠(yuǎn)離火種、熱源、避免陽(yáng)光直接曝曬，通常儲(chǔ)放于陰涼、干燥和通風(fēng)的倉(cāng)庫(kù)內(nèi)；搬運(yùn)時(shí)應(yīng)輕裝、輕卸，防止鋼瓶以及閥門等附件破損。