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佰維存儲反饋,用臭氧水,確實解決半導(dǎo)體清洗消毒;

2021-12-02 16:32 作者:消達(dá)人董工  | 我要投稿

(消達(dá)人董工@臭氧發(fā)生器大講堂第141講)

客戶佰維存儲,做半導(dǎo)體的,超純水電導(dǎo)率上不去?

首先,我們搞清楚的事實就是,

純水、超純水、都是需要消毒的!

為什么呢?

原因就是水路管道有細(xì)菌滋生污染;

分享下是怎么解決的!

客戶是用超純水清洗半導(dǎo)體晶圓,

對水質(zhì)消毒要求非常高!

電導(dǎo)率必須達(dá)到17兆歐;

我們用高濃度臭氧水接入管道,

保持臭氧水出口濃度>2mg/l;

對整個管道循環(huán),

反復(fù)充臭氧水消毒,

最終達(dá)到了17兆歐。

#臭氧水消毒#管道消毒#消達(dá)人臭氧發(fā)生器


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