光譜共焦測量技術(shù)通過分析不同波長光在特定表面的焦點位置，進行高精度尺寸測量和微觀形態(tài)分析。 根據(jù)此測量原理，特定波長的光可能聚焦于樣本表面，而對于透明材質(zhì)的樣本，兩種不同波長的光將聚焦于樣本的表里。 這是光譜共焦所提供的兩種測量模式，前者是位移測量模式，后者是厚度測量模式。下面深圳立儀科技為大家簡單介紹：

1.位移測量模式

　　位移測量模式輸出z方向的高度值，讀取XY的位移量，直接輸出點云坐標(biāo)。 該模式與三坐標(biāo)、結(jié)構(gòu)光、激光三角等測量方法相一致，不同之處在于光譜共焦支持反射面的測量，具有亞微米級的測量精度。

　　位移量測模式適用于大多數(shù)精確尺寸量測場景，您可以選取點、線和面的量測樣本。 點測量適用于測量物體的振動和液體的高度，輸出不同時刻的z方向的值來輔助分析。 線性測量可連續(xù)記錄運動樣本表面的z方向值，用于斷差檢測和2D尺寸分析。 面測量提供樣品表面的完整三維形態(tài)數(shù)據(jù)，可以進行綜合粗糙度等項目的分析。

2.厚度測量模式

　　當(dāng)測量透明樣本(如玻璃和透鏡)時，兩種不同波長的光將聚焦于樣本的正面和背面，引入樣本的折射率參數(shù)，然后可以計算樣本的厚度值。 與游標(biāo)卡尺等傳統(tǒng)接觸式測量工具相比，光譜共焦測量具有所有非接觸式光學(xué)測量的優(yōu)點，同時還具有單側(cè)測量可獲取樣品厚度值的特性。

　　因為折射率直接影響厚度測量的數(shù)據(jù)精度，開始測量時要確認樣品的折射率。 折射率可以參考同種材料的數(shù)值，但為了得到更高精度的厚度測量結(jié)果，需要用折射率計測量樣品的折射率。

　　現(xiàn)在大家知道光譜共焦的兩種測量模式具體是哪兩種了吧!光譜共焦點的兩種測量模式可以通過軟件界面自由切換，無需重新啟動設(shè)備或系統(tǒng)。 因此，無論樣品的表面尺寸測量、透明材質(zhì)的厚度測量，還是同時取得透明樣品的外觀尺寸和厚度信息，分光共焦點測量技術(shù)都能夠留有馀地進行對應(yīng)。