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《炬豐科技-半導體工藝》--技術資料合集22

2021-09-02 16:30 作者:華林科納  | 我要投稿

一:氮化鎵單晶的液相生長

二:氮化鎵單晶生長研究進展

三:GaN三維結構生長與器件應用

四:金剛石氮化鎵技術的未來展望

五:兩步生長法制備氮化鎵納米線

六:氮化鎵外延用硅襯底問題研究

七:氮化鎵單晶襯底的研究進展

八:GaN器件在軍事領域中的應用

九:半絕緣碳化硅單晶襯底的研究進展

十:固態(tài)照明中SiC襯底材料產(chǎn)業(yè)化關鍵問題的研究

十一:金剛石散熱襯底在GaN基功率器件中的應用進展

十二:MOCVD生長Si襯底上HT-AlN緩沖層低生長壓力對GaN薄膜的影響

十三:HVPE法制備碳摻雜半絕緣氮化鎵晶圓片

十四:HVPE生長GaN氣相反應路徑的研究

十五:低溫緩沖層對金剛石襯底上GaN的沉積作用

十六:GaN體單晶的氨熱生長及應力調(diào)控

十七:氮化鎵晶片的化學機械拋光工藝

十八:氮化鎵表面損傷處理及氨熱生長研究

十九:氮化鎵GaN的特性及其應用現(xiàn)狀與發(fā)展

二十:氮化鎵單晶襯底制備技術發(fā)展與展望


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