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掃描電鏡SEM制樣方法大匯總

2022-10-20 17:13 作者:bili_74204057874  | 我要投稿

在做掃描電子顯微鏡(SEM)測(cè)試時(shí),科學(xué)指南針檢測(cè)平臺(tái)工作人員在與很多同學(xué)溝通中了解到,好多同學(xué)對(duì)SEM測(cè)試制樣方法不太了解,針對(duì)此,科學(xué)指南針檢測(cè)平臺(tái)團(tuán)隊(duì)組織相關(guān)同事對(duì)網(wǎng)上海量知識(shí)進(jìn)行整理,希望可以幫助到科研圈的伙伴們;

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1.樣品要求

固體,無毒,無放射性,無污染,無磁,無水,成分穩(wěn)定

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2.常用方法

一般分塊狀樣品、粉末樣品和截面樣品制備三類

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1、塊狀樣品

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低倍率觀察(<5萬倍)-- 導(dǎo)電膠帶

高倍率觀察(>5萬倍)-- 液體導(dǎo)電膠

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2、粉末樣品

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可以直接固定在導(dǎo)電膠帶或者液體導(dǎo)電膠上,見圖

注意:如果是導(dǎo)電膠帶,揭下來的剝離紙一定要倒著放,撒完樣品后在用剝離紙干凈的面壓一下,固定的才回牢

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如果是液體導(dǎo)電膠,最好是用水溶性的,不容易和樣品發(fā)生反應(yīng),撒樣品的時(shí)間點(diǎn)控制在導(dǎo)電膠快干的時(shí)候撒,才能使樣品達(dá)到半浸沒狀態(tài)。

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也可以用分散法

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3、截面樣品

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如果是硅片或者是玻璃,需要用到玻璃刀,見圖

注意:用玻璃刀劃的時(shí)候要讓開觀察的面,也就是說可以上面和下面各劃一下,然后再掰就可以了

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根據(jù)不同樣品材質(zhì),有的時(shí)候是正面掰好,有的時(shí)候是從背面掰好。

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